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從 LED 生產中世界領先的有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 製程設備廠商 ─ Veeco 這裡,瞭解最新的重要 LED 製造業開發進展以及技術資源和製造前瞻。 |
Veeco 專有技術結合獨特的層流反應器設計及自動熱載波傳輸,為 LED 製造業不間斷的生產效率及卓越產量訂立了行業標準。
觀看 TurboDisc K465i GaN 有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統動畫
Uniform FlowFlange® 技術:可產生均勻流經晶圓載具的烷基和氫化物氣體的交替氣流
RealTemp® 技術:RealTemp 溫度控制技術可實現實時監控及製程控制,專為高精度量測而打造
DTR-210™ 現場製程監控:在有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) GaN 磊晶生長過程中結合偏向術、反向術及溫度量測法,實現高度均勻及可重複的生長循環。
高容量 LED 製造業播客
LED 製造業的全新進展(5.83 MB 6:20 分)
TurboDisc K465i:喚醒您的產量(4.07 MB 4:28 分)
應用附註:
將現場撓度計量測術用於 GaN 有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD),以縮短開發時間,優化產品產量 - [416 KB PDF]