RF

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自動化製程設備為 RF 市場帶來超精密磊晶生長晶圓。

RF 裝置的需求及市場規模正不斷增長,而 Veeco 則推動化合物半導體矽磊晶片的高效、高容量生產。用於表面精密處理與分子束磊晶 (MBE) 的自動化製程設備帶動超精密技術以擴展 RF 市場的應用。

帶動 RF 生產

Veeco 在打造材料研究系統方面擁有豐富經驗,為化合物半尋體量產製造業帶來了創新及低擁有成本。自動化系統及廣泛的蒸汽來源,使得傳統 III-V 類及 II-VI 類與新材料一樣,在 RF 網絡及光電元件等新興技術中的使用得到了增長。

生產績效同樣始於我們的內部製程整合中心,其中我們將提供專門技術,協助克服從新興材料及應用之研究系統到生產系統等一系列的規模製程挑戰。

Veeco 的優勢包括:

  • GEN2000® 等領先業界的分子束磊晶技術 (MBE) 系統提供以最低成本製造每一晶圓的能力
  • 用於單晶圓金屬剝離和蝕刻的表面精密處理技術
  • 多生長模組可提高產量,或實現相容材料製程
  • 自動化晶圓處理功能為分子束磊晶 (MBE) 帶來折衷式的生產效率
  • 維護簡單,可最大化運行時間
  • 生長模組可處理多個 3"、4"、6" 或 8" 晶圓
  • 元件及資源均為樹立作業標準而設計,具有高度可靠及可複製的成效
  • 進階製程整合中心可提供專門技術,協助探索新興應用的解決方案
  • RF 應用的製程設備 

作為世界領先的分子束磊晶 (MBE) 與濕式蝕刻系統及元件供應商,Veeco 今日就可協助創造明日的材料、製程及設備。

表面精密處理系統

Veeco 的表面精密處理系統走在先進封裝技術、RF、MEMS、平面顯示器以及化合物半導體產業的尖端上。

分子束磊晶 (MBE) 技術

Veeco 可提供業界最廣泛的創新型可靠分子束磊晶 (MBE) 系統系列。

Ultratech:Veeco 的一個部門

其廣泛的產品組合包括用於先進退火製程的雷射處理設備、用於先進封裝和 HBLED 微影的光刻技術步進器、用於內置晶圓監控的檢查系統,以及用於各種應用研究的 ALD 設備。

聯絡資訊

我們的銷售團隊隨時能提供協助。