輕敲式原子力顯微鏡（Tapping Mode AFM）是現今最被廣泛使用的AFM模式，為威科儀器的專利技術，主要利用振盪的探針輕微地敲擊表面來繪出表面起伏。懸臂的振幅大小隨著樣品表面起伏而變化，藉由監測這些變化和z回授電路來減小這些變化，以到表面輪廓影像。
Tapping Mode AFM已成為最重要的AFM技術，它同時克服了Contact和non-contact AFM的限制。一般側向力會損傷軟性樣品和降低影像解析度，但TappingMode藉由減低側向力可以一直對樣品成像，這是一般AFM系統所達不到的，特別是Contact mode的AFM。
   另一個Tapping Mode AFM的優點為可量測液體薄膜，因為對於大部分的樣品在一般空氣或其它氣體環境下會在表面形成液體。在Tapping Mode下，懸臂振幅一般為十幾個奈米，使得針尖不會卡在液體薄膜內。另一方面，non-contact AFM系統的振幅非常小，所以當不同的力被持續地量測時，Contact mode AFM的針尖經常卡在液體薄膜內，除非進行非常慢的掃描。

一般而言，在掃描成像的大小上，Tapping Mode AFM也比non-contact的AFM來得有效率多，包含樣品輪廓的大變化度。Tapping Mode也可運用於氣體、液體、和真空環境。