產品
類鑽碳系統
聯絡我們
聯絡我們獲取應用或技術支援。
 
選擇最適合您的類鑽碳系統。
  • NEXUS DLC 系統
需要更多資訊？
A-Z 產品目錄

類鑽碳系統功能及優勢

NEXUS 類鑽碳 (DLC) 系統 ─ 超堅硬、耐腐蝕的 TFMH 塗層薄膜技術

產品詳細資料

功能：

  • 業界首例值得投產的脈衝過濾型陰極電弧
  • 長距離、低壓 PVD
  • 反應性 PVD 製程可用
  • 配合可調諧的 NEXUS 420 離子束蝕刻來源可實現穩定作業
  • 傾斜的橢圓儀便於蝕刻及沉積端點控制

優勢：

  • 卓越的均勻性、可重複性及薄膜硬度
  • 具有稠密、無針孔的矽種晶層
  • 經改進的步驟範圍，帶來更佳製程產量
  • 更持久的滑塊覆層及著陸架
 
 
 
Powered By OneLink