NEXUS DLC-X 鍍膜系統

超堅硬、耐腐蝕的 TFMH 塗層薄膜技術

透過 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系統，鍍製稠密、均勻及可重複的薄膜類鑽碳 (DLC) 薄膜，使薄膜磁頭 (TFMH) 滑塊覆層及著陸架更加持久。Nexus DLC-X 具有業界首例值得投產的脈衝過濾型陰極電弧來源，可實現 SUB-20A 的覆層厚度，並支援改進後的步驟範圍，相比過往的生成方式，具有更佳製程產量。 

• 脈衝過濾型陰極電弧帶來的卓越均勻性、可重複性及薄膜硬度
• 長距離、低壓 PVD 可提供稠密、無針孔的矽種晶層
• 反應性 PVD 製程可用
• 可調諧的低能量 NEXUS 420 離子束蝕刻來源，從低至 75 伏至 300 伏的束能量中實現穩定作業。
• 傾斜的橢圓儀便於蝕刻及沉積端點控制