分子束磊晶 (MBE) 組件

分子束磊晶 (MBE) 組件

分子束磊晶 (MBE) 系統的生長控制及排程軟體

分子束磊晶 (MBE) 系統的生長控制及排程軟體

完善的製程控制解決方案

Veeco 提供了一個全方位的整合型軟體控制解決方案,可以透過我們的「Molly 生長控制與批量管理排程軟體」,使用研究與生產兩種 MBE 系統。Molly 在運作時能夠輕鬆撰寫與執行能夠執行生長製程的配方程式,同時「批量管理程式」則會負責管理 Veeco 集束型製程設備系統的自動化操作。

Molly 生長控制排程軟體

  • 全球超過 150 個安裝數
  • 包括磊晶特定配方程式編輯器,搭載易於使用的編輯功能(剪下/複製/貼上、拖曳等)
  • EpiTrend™ 的「始終開啟」資料封存器及顯示器能對當前及歷史資料進行對比,結合能夠離線查看記錄及資料的 Liberator 功能,保留系統正常運作時間
  • 嵌入 MollyScript 製程語言,能夠將特殊用途程序嵌入標準的磊晶配方程式
  • 配方檢查及診斷可進行設定及準備核證,將製程廢品減至最少
  • 彈性的架構讓您能夠輕鬆整合全新的元件與儀器,可透過標準介面支援其他製程控制硬體的連接

Molly 是當今用於控制 MBE 生長製程的標準。十多年以來,它幫助了操作人員開發和使用層結構配方程式,以及監控系統的運作。此外,它還讓栽培者能結合 RHEED、高溫計與其他現場監控工具。

Molly 的人氣來自於其穩固的平台,其所搭載的軟體架構讓使用者所使用的 Molly 能適應他們當前的需求以及特別的操作。開放式的架構也讓 Veeco 能夠不斷地升級 Molly 以適應在 MBE 生長方面的創新,以及在研究與生產 MBE 上不斷升高的需求。

ECS1 版的 Molly 生長控制軟體保有先前版本的珍貴功能,同時採用許多全新擴充的診斷能力,以提供更甚以往的實用性與硬體控制。這當中包括 EpiTrend,能有效率地按照一定的基礎記錄所有資料;Liberator,能夠離線進行資料的匯出與檢視;以及 EpiMove™,可用於控制全新採用的無線手持電腦,提供無後顧之憂的擴充系統控制功能性。Molly 也配備「傳送前」和「傳送中」的檢查功能,可探測出會對生長製程造成干擾的故障問題,能夠防止後續配方開始執行。Molly ECS1 生長控制軟體可用在全新的系統上,也可用作現有系統的升級元件。

批號管理器排程軟體

  • 可設定平台傳輸和生長配方執行排程 - 允許手動平台傳輸及幫浦/通氣操作
  • 提供有平台位置、縱切閥狀態、幫浦通氣操作等的指示器
  • 能夠輕鬆地設定系統的實體配置(新增/移除製程模組)

批量管理程式是易於使用且穩固的平台,能夠用以控制 Veeco 自動化生產用 MBE 系統的作業。透過與 Molly 生長控制軟體的無縫通訊,同時採用高度彈性的批量與執行表單,批量管理程式能夠輕鬆地設定為在模組之間自動傳輸控制平台,並且根據使用者利用 Molly 所定義的製程來展開生長配方的執行。

在典型的操作期間,先會將平台載入承載模組,再傳輸至執行清潔配方的準備模組,然後傳輸至執行生長配方的生長模組。當生長製程完成,平台即會回到承載或儲存模組。批量管理程式會重複這些步驟,直到所有批量表單所排定的平台製程皆已完成為止。

此軟體的識別能力可將各種組態配置的平台載入承載模組進行製程的執行。操作人員即可輕鬆指定平台的組態配置,包括晶圓基材的尺寸和數目,必要時,也包含相應的序號、產品識別與製造商資料。

批量管理程式也可用來執行手動傳輸。只要用滑鼠拖曳,即可快速、輕鬆和即時地移動平台。

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