SPECTOR 大面積行星齒輪式離子束鍍膜系統

提高產量，具有卓越的材料均勻性

Veeco 的 SPECTOR® 大面積行星齒輪式離子束鍍膜系統將無可比擬的離子束薄膜品質與接近電子束系統的批次規模完美結合在一起。 除了更大的總體塗層面積外，該強大的夾具還支援對最大直徑 400mm 及厚度 100mm 的龐大基材進行加工。 Veeco 已採用我們的 16cm RF 高功率鍍膜來源及超低污染 RF 中和器來確保高鍍膜速率及薄膜品質。 為保證最佳化學計量控制及現場基材預清潔或蝕刻支援，該系統亦配有我們的 12cm RF 輔助離子源。

• 具有業界領先產量的離子束品質可提供最低的擁有成本
• 400mm 行星齒輪範圍卓越的材料均勻性可確保產品最高產量
• 高電流 RF 離子源可提供卓越的鍍膜速率
• 大型基材及調色板支援提供了最大的產品靈活性