SPECTOR 離子束鍍膜系統

精確光學薄膜的整體製造

憑藉 Veeco 的 SPECTOR® 離子束鍍膜 (IBD) 光學塗層系統，實現更高的精度及薄膜製程靈活性SPECTOR 離子束鍍膜 (IBD) 光學塗層系統擁有多種配件選擇，包括夾具、目標組件及先進的光學監控系統，幾乎符合每種光學薄膜加工應用的產量及設備性能要求。

SPECTOR 雙離子束鍍膜系統

• 可互換的平臺適用於行星齒輪式、單旋轉式或夾持式夾具
• 可為電信應用提供高產量的 200、100 及 50 GHz DWDM 過濾器
• 符合嚴苛的設備規格，比如窄通帶、寬止帶、陡坡及低介入損耗
• 可生產 AR 塗層、複雜的非四分之一波長塗層以及超低損耗的雷射鏡
• 可加工出吸收及散射均處於單數位 ppm 級的雷射鏡
• 高能量製程可產生更好的填充密度及低針孔密度
• 作壓作業可產生高純度薄膜
• 一流的薄膜厚度控制

SOURCERER 系統管理器

SOURCERER® 系統管理器具有獨特的圖形化介面，可顯示實時及動畫移動效果，比市面上任何其他離子束系統控制套件具有更強的控制力及靈活性。使用簡單的命令或輕鬆導入的薄膜設計，製程持師可以開發進階型自動化配方，開始製程運行並在運行完畢時返回。透過 Veeco 一流的製程知識及可靠的全世界服務機構，我們為銷售前後均設定了標準。