SPECTOR 承載離子束鍍膜系統

一流的產量及可複製性，適用於廣泛的應用

Veeco 的 SPECTOR® 承載離子束鍍膜系統可為各類應用提供顯著的產量提昇。 SPECTOR 承載系統能夠在基材載入後 5 分鐘內開始鍍膜，在鍍膜時間短於批次工具所需的典型預製程步驟之設計中，可輕鬆令產量翻倍。 

透過對壓力、溫度、靶表面組成及離子源功率等製程參數維持穩定狀態條件，系統可複製性亦得到增強。 由於 SPECTOR 承載系統曝露至空氣及水分頻率較低，使用者大可期望為射頻中和器、腔體襯板及隔層獲得平均維護間隔時間 (MTBM) 提昇。 該等功能及優勢之組合，令到使用者可製造出市面上最高精度及品質的薄膜，而成本只需先前的一小部分。

• 低/中厚度塗層應用產量顯著提升
• 透過固有的更穩定製程條件提高可重複性
• 縮短多個關鍵組件的平均維護間隔時間
• 改進微粒控制