有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統功能及優勢
功能：
- Uniform FlowFlange® 技術可實現一流的均勻性及可複製性
- 緊湊型叢集架構
- 最高容量配置
- 最高產量反應器
- TurboDisc 技術維護率低，能實現最高的系統可用性
優勢：
- 擁有成本最低
- 產量最高
- 佔用空間效率最高
- 資本效益最高
- 單層或多層生長室
- 從 K465i 開始的無縫製程轉移
- 可利用進階技術升級
功能：
- 模組設計
- 調整式 FlowFlange®
- 進階 RealTemp® 200溫度控制技術
- 應有盡有的晶圓載具溶液
- TurboDisc® 高速層流速度
- 完善的真空承載室
優勢：
- 業界領先的產量
- 卓越的一致性和複製性
- 優秀的再生性
- 符合特定需求的選項
- 低維護成本，最高生產力
- 最短的運作停機時間
功能：
- Uniform FlowFlange® 技術可實現一流的均勻性及可複製性
- TurboDisc 技術維護率低，能實現最高的系統可用性
優勢：
- 已經投產證實的 GaN MOCVD 系統
- 全自動化及維護後極快的恢復投產期，造就了業界最高的生產效率
功能：
- 與久經讓實的 Veeco K300 MOCVD 系統共用平臺 ─ 專為優越的產量而設計
- 進階 TurboDisc® 反應器技術，高速層流速度以及清潔作業消除了現場熱處理的需要
優勢：
- 可提供業界最高產量，適用於 GaN 的藍色及綠色 LED 以及藍色雷射之大容量生產
- 自動化平臺在控制資本成本的同時，還可為 HB-LED 廠商創造更多利潤
- 卓越的產量、均勻性及可複製性
功能：
- 憑藉行業領先的產量，實現多接面 III-V 類聚光型太陽能電池、HB-LED、雷射二極體、pHEMT 及 HBT 的高容量生產
- TurboDisc® 技術維護率低，可實現最長的運行時間
- 整合型 RealTemp® 200技術可直接控制晶圓溫度，快速切換氣體，並對介面之凸緩程度進行嚴格控制
優勢：
- 是大量生產 HB-LED 及聚光型太陽能電池的理想之選
- 卓越的材料品質與製程效率，加上極高的生產效率
- HB-LED 與 III-V 類聚光型太陽能電池具有高投資回報率