TurboDisc K465 GaN 有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統

最高生產、最高盈利性之自動化

Veeco TurboDisc® K465 GaN 有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統可透過進階 TurboDisc 反應器技術，提供業界 GaN 藍光及綠光 LED 高容量生產之最高產量 ─ 及其久經生產證實之自動化有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 平臺。可重配置的反應器和源模組適用於多種晶圓反應器技術。K465 是一款全自動的高性能系統，可提供一個可擴展平臺，使資本壽命更長。

• 提供業界最高的 GaN 藍光及綠光 LED 和藍光雷射有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 產量
• 自動化平臺可為 HB-LED 廠商創造更高利潤，同時控制資本成本
• 獨特的 TurboDisc 技術可確保卓越的生產量
• 業界最強大的自動化真空承載配上熱載波傳輸技術，可提供最高產量
• FlowFlange® 離散注入區結合單獨流匹配功能，可提供卓越的均勻性及可重複性
• 熱載波傳輸系統可在製程循環中隨時載入，同時保持反應器處於真空狀態
• 自動載波傳輸系統在兩次運行之間無需更換組件