GEN10 自動化 R&D 分子束磊晶 (MBE) 系統

晶圓尺寸高達 1x3"

在久經證明的平臺中，最經濟、靈活的叢集工具系統最多容許 3 個可配置的材料專用生長模組。這可啟用高系統利用率，從而容許多個調查人員同時使用系統，並執行無人值守生長和校準。這結合了 Veeco 組件技術（這些技術在分子束磊晶 (MBE) 選擇 GEN10 的原因中是關鍵因素），無論應用如何。

• 自動化晶圓傳輸可啟用高系統利用率，從而容許多個調查人員同時使用系統，並執行無人值守生長和校準
• 其他生長模組的經濟實用升級途徑，上限為 3 個
• 叢集構造中可配置的材料專用生長模組，可啟用一個真空系統中不相容材料的生長
• 大型生產分子束磊晶 (MBE) 系統的直接製程途徑