GEN2000 Edge 產品分子束磊晶 (MBE) 系統

晶圓尺寸：3x8"、7x6"、14x4"、23x3"

GEN2000 提供了超高產量、長運行時間、較小的佔用空間以及叢集工具晶圓處理功能。這是大量生產無線通訊設備（例如 HBT 和 pHEMT）以及需要多個 6" 產品與低擁有成本之新興應用的理想之選。

• 提供了每個晶圓的行業最低成本
• 可比較的分子束磊晶 (MBE) 工具相比，一流設計所佔用的空間可減少 40%-60%
• 模組結構最多容許 2 個生長模組，以增加產量或容許處理不相容的材料
• 維護簡單，可最大化運行時間
• 選用的隔板安裝可優化無塵室空間
• 併入了行業最新的可靠系統硬體、來源和組件