分子束磊晶 (MBE) 組件

分子束磊晶 (MBE) 組件

磷回收系統

磷回收系統

捕捉及中和白磷的高效、安全方法

由於白磷極易與氧氣發生反應,所以 Veeco 的磷回收系統 (PRS) 提供了在對分子束磊晶 (MBE) 進行排氣以便維護及/或重新裝載來源之前,從生長模組中捕捉並中和白磷的安全高效方法。該製程由 Veeco Molly® 生長控制軟體控制並緊密監控。

Veeco 磷回收系統 (PRS) 具有兩種模式,可適應低容量或高容量製造環境。

  • 高效、安全的磷中和方法
  • 利用 Molly 生長控制軟體實現製程輕鬆操縱及監控
  • 與所有分子束磊晶 (MBE) 系統相容

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