分子束磊晶 (MBE) 組件

分子束磊晶 (MBE) 組件

磷閥控碎裂器溫度控制器

磷閥控碎裂器溫度控制器

對通量不穩定性進行精確及穩定的控制

Veeco 的「磷閥控裂解器溫度控制器」可適用於現有和全新的磷閥控裂解器,即使在不斷改變的環境條件下(如空氣溫度或水冷卻溫度),也能確保白色區域因此所產生的溫度不穩定性,獲得精確與穩定的控制。

此溫度控制器的工作方式係藉著將白色區域保持在攝氏 ±0.05° 的範圍內,進而使白磷通量的穩定性 <±1%。此外,此溫度控制器還能讓使用者精確地設定白色區域的溫度,而不是手動設定白色區域氣流,藉此大幅簡化了閥控裂解器製程的設定。

  • 保持磷白色區域溫度差異在攝氏 ±0.05° 以內,且通量變化在 ±1% 以內
  • 與所有 Veeco 磷閥控裂解器相容
  • 可消除因水溫、氣溫及氣流引起的磷通量不穩定性

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