分子束磊晶 (MBE) 組件

分子束磊晶 (MBE) 組件

基材加熱器

基材加熱器

為特定溫度及生長環境量身打造

基材加熱器可直接作為一般 MBE 系統的替換元件。Veeco 提供應用特定基材加熱器,為特定溫度及生長環境條件量身打造。以標準的加熱器為例,係經由 PBN 擴散板和精密的燈絲設計來達到出色的熱均勻性。以鎢絲密集纏繞而成的燈絲可提供相當大的表面區域。絲線最好是繞過金屬薄片,這樣一來即可提供更加一致的橫截面均勻性,防止熱點的形成。燈絲組件的特色是將絲線以間隔緊密、平行的方式,排成一致的模式,而纏繞的方向則與旋轉相反,以確保鍵合與非鍵合兩種區塊都能均勻地受熱。

高效率的功耗是此種基材加熱器才有的特質。燈絲的表面積加大,且有熱屏蔽的設計,能將熱能投向基材。功率/電流消耗降低多達 50%,超過製造商的原廠設備。背景壓力獲得改善,而且 RHEED 圖形更加清晰,電感干擾更少。乾淨的操作來自於構成材料與 UHV 相容製造技術的細心挑選。鉭、鎢和電漿橋引式中和器這些器材,只有標準 III-V 應用當中所使用的加熱器才將其用於熱區的部分。高效率的操作同時也降低生長期間的釋氣現象。

高反應的鎢制燈絲使可靠性與可再生性更高。此項裝置藉由先進的隔離系統將其穩穩地固定於位置上,確保效能特性不會因為形狀或位置變動而有所改變。電漿橋引式中和器擴散板負責保護燈絲在基材傳輸期間不會塗上來源材料,或發生意外損壞(如附圖)。

基材加熱器設計還附加一些強化功能,包括:

  • 可優化加熱彈性的雙燈絲
  • 適用於高溫和其他生長環境的燈絲材料
  • 擴散材料適用於兩種生長環境

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