技術及產品

Ultratech:Veeco 的一個部門

其廣泛的產品組合包括用於先進退火製程的雷射處理設備、用於先進封裝和 HBLED 微影的光刻技術步進器、用於內置晶圓監控的檢查系統,以及用於各種應用研究的 ALD 設備。

有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統

Veeco 擁有一系列業界領先的有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 設備,均能夠提高最大生產量,並同時又能降低擁有成本。

表面精密處理系統

Veeco 的表面精密處理系統走在先進封裝技術、RF、MEMS、平面顯示器以及化合物半導體產業的尖端上。

分子束磊晶 (MBE) 技術

Veeco 可提供業界最廣泛的創新型可靠分子束磊晶 (MBE) 系統系列。

離子束濺鍍

Veeco 為精確度光學塗層和光電子設備提供離子束飛濺技術。

氣體及蒸汽傳送系統

Veeco 的氣體和蒸汽傳送系統可解決半導體製造商與代工廠面臨的重要問題:材料成本、製程可重複性和系統正常運作時間。

離子束系統及離子源

Veeco 擁有業界領先的離子束蝕刻與鍍鏌技術。

化學氣相沉積

Veeco 的化學氣相沉積系統能以披覆金屬鍍膜製程實現新一代的薄膜磁頭 (TFMH)。

類鑽碳

透過 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系統,鍍製稠密、均勻及可重複的類鑽碳 (DLC) 薄膜,讓薄膜磁頭 (TFMH) 滑塊覆層及著陸架更加持久。

物理氣相沉積

Veeco 的物理氣相沉積系統具有極大的靈活性,適用於各類廣泛的薄膜鍍膜應用。

切割及研磨系統

Veeco 的切割和研磨系統是一種具有高產能的切割解決方案,能夠應用的範圍相當廣泛,例如讀寫燒錄頭、LED、太陽能電池、微電子與光電等。