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| 類鑽碳系統 |
| 離子束系統及離子源 離子束鍍膜 離子源 柵極直流離子源 柵極 RF 離子源 無柵極終端霍爾離子源 磁控管 |
| 分子束磊晶 (MBE) 技術 分子束磊晶 (MBE) 組件 分子束磊晶 (MBE) 來源 高溫 |
| 有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD) 系統 |
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