類鑽碳

類鑽碳

透過 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系統,鍍製稠密、均勻及可重複的類鑽碳 (DLC) 薄膜,讓薄膜磁頭 (TFMH) 滑塊覆層及著陸架更加持久。Nexus DLC-X 具有業界首例值得投產的脈衝過濾型陰極電弧來源,可實現 SUB-20A 的覆層厚度,並支援改進後的步驟範圍,相比過往的生成方式,具有更佳製程產量。

NEXUS DLC-X 類鑽碳系統

透過 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系統,鍍製稠密、均勻及可重複的 DLC 薄膜,使薄膜磁頭 (TFMH) 滑塊覆層及著陸架更加持久。