氣體及蒸汽傳送系統

氣體及蒸汽傳送系統

Veeco 的氣體和蒸汽傳送系統可解決半導體製造商與代工廠面臨的重要問題:材料成本、製程可重複性和系統正常運作時間。

Apex 氣體混合系統

透過購買成本更低但濃度更高的氣體,Apex 氣體混合系統因此能夠降低生產成本。

精確氣體混合系統

精密氣體混合系統能夠提升氣體混合的濃度。它所產生的氣體混合物在製程中受到更緊密的控制,產量更為提高。

Piezocon 氣體濃度感測器

作為 CVD 與 MOCVD 製程在化學前驅蒸汽與摻雜物氣體的可再生蒸汽傳送控制的業界標準,Piezocon® 氣體濃度感測器提供更高的產量。