離子束濺鍍

離子束濺鍍

Veeco 為精確度光學塗層和光電子設備提供離子束飛濺技術。

光學塗層專用的 SPECTOR-HT 離子束飛濺系統

使用 SPECTOR-HT™ 高階離子束系統,以更佳的生產效率和產量,生產最高品質的精確光學薄膜。

光學塗層專用的 SPECTOR-HT Loadlock 離子束飛濺系統

Veeco 的 SPECTOR 承載系統,在鍍膜時間短於批次工具所需的典型預製程步驟之設計中,能夠輕鬆令生產量翻倍。

光學塗層專用的 SPECTOR 離子束飛濺系統

憑藉 Veeco 的 SPECTOR® 離子束飛濺 (IBS) 光學塗層系統,實現更高的精密度及薄膜製程靈活性。

光學塗層專用的 SPECTOR 大面積離子束鍍膜系統

以 Veeco 的 SPECTOR® 大面積行星齒輪式離子束鍍膜系統,將無可比擬的離子束薄膜品質,與接近電子束系統的批次規模完美結合在一起。