離子束系統及離子源

離子束系統及離子源

Veeco 擁有業界領先的離子束蝕刻與鍍鏌技術。

離子束鍍膜

借助離子束鍍膜 (IBD) 系統的最佳均勻性及可重複性,創造超精密、高純度的薄膜層設備。

離子束蝕刻

憑藉 NEXUS® 離子束蝕刻 (IBE) 系統實現精密、複雜的蝕刻功能,達到離散微電子裝置及元件的高產量生產。

離子源

Veeco 可為廣泛的應用提供最全面的離子束來源系列,包括業界唯一的線性柵格 (Linear gridded) 來源。