低溫

低溫

透過 Veeco 的低溫磊晶來源,實現準確一致的低溫磊晶來源性能,適用於各樣的應用。

可回收來源

Veeco 的可回收來源可因應 MBE 的根本限制,包括來源容量、維護時的來源移除以及系統正常運作時間。

單燈絲來源

單燈絲來源是符合成本效益的解決方案,是高蒸汽材料的理想之選。

雙燈絲來源

雙燈絲來源使用兩個獨立燈絲(主燈絲和輔助燈絲)來加熱坩鍋,從而提供了增強的加熱控制。

硫閥控裂解器

硫閥控裂解器為通量提供了有效的材料保存和近乎瞬時的調變,避免腐蝕性氣體的化學侵蝕。

SUMO 來源

SUMO 來源提供了重要的溫度穩定性,是高蒸汽壓材料的非閥控蒸鍍的最佳可用來源。

抗氧來源

Veeco 的抗氧、使用壽命延長的來源能增加正常運作時間並降低維修成本。

抗氨來源

Veeco 的抗氨、使用壽命延長的來源能增加正常運作時間並降低維修成本。

磷閥控裂解器

磷解決方案投資的最佳回報

硒閥控裂解器

硒閥控裂解器具有多個加熱區域,可產生已裂解或未裂解的硒通量,同時又避免腐蝕性氣體的化學侵蝕。

腐蝕系列閥控裂解器

藉由腐蝕系列閥控裂解器的出色通量控制,傳統熱控來源無法實現的複雜結構都能做到。

砷閥控裂解器

行業標準砷來源