MBE 系統

MBE 系統

Veeco 可提供業界最廣泛的創新型可靠分子束磊晶 (MBE) 系統系列。

GENxcel 研發分子束磊晶 (MBE) 系統

全新 GENxcel 系統擴展至獲獎項肯定的 GENxplor™ 上,GENxplor™ 自 2013 年 8 月推出來已成為最熱銷的 MBE 系統,與 3 吋的 GENxplor 系統相比,擁有單個 4 吋基材上的高品質晶膜生長。

GENxplor 研發 MBE 系統

Veeco 的獲獎 GENxplor™ R&D MBE 系統,搭載 Veeco 久經證明的 GEN10™ MBE 系統生長腔體設計,能夠提供無與倫比的製程彈性。

GEN10 分子束磊晶 (MBE) 系統

GEN10™ MBE 作為久經證明的平台中最經濟、靈活的集束型製程設備系統,最多容許三個可配置的材料專用生長模組。

GEN20 分子束磊晶 (MBE) 系統

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統能夠提供超彈性的工具。GEN20™ 可針對 III-V 和新興材料(包括需要整合 e-beam 技術的應用)進行配置。

GEN200 MBE 系統

Veeco 的 GEN200® MBE 系統能夠帶來優異的生產量與出色的晶圓品質,是市場中最具成本效益以及容量最高的多個 4 英寸生產用 MBE 系統。

GEN2000 MBE 系統

GEN2000® MBE 系統能夠提供優異的生產量、更長的生產活動時間、更小的佔用空間和集束型製程設備晶圓處理功能。

GEN930 R&D 分子束磊晶 (MBE) 系統

GEN930® 系統是透過直接泵浦耦合針對氮化物和氧化物應用開發 III-V 或 II-VI 材料的理想之想。