物理氣相沉積

物理氣相沉積

Veeco 的物理氣相沉積系統擁有最大的運用彈性,搭配先進的製程功能、無與倫比的均勻性與多種鍍膜模式,可適用於廣泛的薄膜鍍膜應用。

NEXUS PVD-1 物理氣相沉積系統

透過 Veeco 的 NEXUS PVD-1 單晶圓物理氣相沉積模組,獲取所需的簡單性、可靠性及優越性能。

NEXUS PVDi 物理氣相沉積系統

使用 Veeco 的單靶 NEXUS PVDi 物理氣相沉積系統獲得最大的靈活性,適用於各類廣泛的薄膜鍍膜應用。