Mark II+ 無柵極離子源


增加束輸出,改善維護功能

顯著增強的射束電流及可拆卸的陽極組件,為 Mark II+ 終端霍爾離子源增添了新價値,促使 Veeco 業界領先的無無格線式極離子源(適用於光學塗層系統)得到演化改進。

  • 射束電流最高提升 70%,適用於高速率製程及較大型的生長室
  • 可拆卸的陽極組件可加快維護,並減少停工時間
  • 整合的連接線及電纜符合易於安裝及可靠性要求
  • 適用於反應性氣體、惰性氣體以及高功率密度
  • 較小形狀因子將裝載板用作 Mark II 來源,可實現快速升級
  • 靈活的整合支援節省空間的系統設計以及廣泛的束孔徑角

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