研究用原子層沉積 (ALD)

研究用原子層沉積 (ALD)

Veeco 的原子層沉積研究系統是由原子層沉積 (ALD) 科學家所設計,旨在最大程度地提高實驗靈活性和價值。借助通用的前驅物輸送系統,您可以在任何前驅物埠中使用固體,液體或氣體化學物質。我們提供了很多選項,包括臭氧產生器、現場監測和各種配置。與往常一樣,我們的原子層沉積 (ALD) 科學家團隊隨時準備回答您的配方開發和薄膜特性問題。超過 800 篇公開發表的學術文件上刊載了在我們的 Savannah® 熱原子層沉積 (ALD) 系統和 Fiji® 電漿原子層沉積 (ALD) 系統上執行的研究。

原子層沉積 (ALD) 系統:Savannah®

Savannah® 系統在全球已安裝了超過 300 套,因此該系列是原子層沉積 (ALD) 研發的標準。Savannah® 將簡單使用及絕佳實驗靈活性的特點結合成為一個小巧且價格實惠的套件。

若您正在尋找價格實惠及可靠的原子層沉積 (ALD) 研究系統,我們的 Savannah® 系列是絕佳的入門選擇。
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原子層沉積 (ALD) 系統:Fiji®

若需要的是更進階,更具實驗靈活性的系統,Fiji 將是符合您需求的產品。在全球已經安裝超過 100 套系統。Fiji 是模組型系統,可以自訂以符合您的特定需求。

Fiji® 配有電漿產生器來啟動電漿增強原子層沉積 (ALD)。可以對其進行配置以實現無塵室相容性和/或帶有可選擇的承載室。
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