離子束鍍膜

借助離子束鍍膜 (IBD) 系統的最佳均勻性及可重複性,創造超精密、高純度的薄膜層設備。

沉積系統

借助離子束鍍膜 (IBD) 系統的最佳均勻性及可重複性,創造超精密、高純度的薄膜層設備。

Veeco 的 Nexus IBD-LDD 符合超紫外線 (EUV) 光罩基底最高等級的微粒控制和反射性的需求……
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提高 80Gb/in2 感測器的產量,並符合未來薄膜磁頭 (TFMH) 裝置加工的需求,須透過 Veeco 的第三代 NEXUS® 離子……
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