低溫

透過 Veeco 低溫磊晶來源,實現準確一致的低溫磊晶來源性能,適用於各樣的應用。

藉由腐蝕系列閥控裂解器的出色通量控制,複雜結構皆無法使用傳統熱控……
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磷解決方案投資的最佳回報
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硒閥控裂解器具有多個加熱區域,可產生已裂解或未裂解的硒通量,同時又避免……
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行業標準砷來源
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Veeco 的抗氨、使用壽命延長的來源能增加正常運作時間並降低維修成本。
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單燈絲來源是符合成本效益的解決方案,是高蒸汽材料的理想之選。
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雙燈絲來源使用兩個獨立燈絲(主燈絲和輔助燈絲)來加熱坩鍋,從而提供了增強的加熱控制。
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硫閥控裂解器為通量提供了有效的材料保存和近乎瞬時的調變,避免化學侵蝕……
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SUMO 來源提供了重要的溫度穩定性,非閥控蒸鍍的最佳可用來源來自高蒸氣壓……
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Veeco 的抗氧、使用壽命延長的來源能增加正常運作時間並降低維修成本。
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Veeco 可回收來源可因應分子束磊晶技術 (MBE) 的根本限制,包括來源容量、維護時的來源移除以及系統正常運作時間。
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