分子束磊晶 (MBE) 組件

分子束磊晶 (MBE) 組件

Veeco 在工程上按照嚴格的作業標準並在設計上提供高度可靠與彈性的效能,提供了一系列的分子束磊晶 (MBE) 元件。

Veeco RF 電漿來源自動調諧器能夠自動地調整與維持最佳的電漿來源條件,解決需要……
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業界標準的電源
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磷回收系統 (PRS) 能夠先安全地將白磷回收並加以中和,接著在分子束磊晶技術 (MBE) 系統準備通氣之前……
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單件 UNI-Block 無銦基材載具可用於全晶圓或局部晶圓。
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Veeco 的基材加熱器專為特定的溫度與生長環境量身打造,能夠提供最佳的加熱彈性。基材加熱器可提供的形式為……
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Veeco 的氣體傳送系統可確保精密的氣體控制。提供互鎖並監控惰性氣體、危害氣體及/或……
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引入 CBr4 氣體至碳摻雜超高真空 (UHV) 環境的高效、安全方法。
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Veeco 加熱視埠可防止分子束磊晶技術 (MBE) 系統中的光埠被塗層覆蓋。
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Veeco 對於分子束磊晶 (MBE) 蒸鍍源瓶提供各式各樣的坩鍋,可最大化來源填充容量。
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功能全面的整合型軟體控制解決方案,同時適用於研究及生產分子束磊晶技術 (MBE) 系統。
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即使在不斷改變的環境條件下,也能確保通量因此所產生的不穩定性,獲得精確與穩定的控制,這些皆透過「磷閥控裂解器溫度……
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