濕式處理系統

使用永續性實務的表面處理非常重要,以確保先進微電子技術的可靠性,專門運用於汽車應用、醫療設備、5G 和雲端儲存。

濕式處理系統

使用永續性實務的表面處理非常重要,以確保先進微電子技術的可靠性,專門運用於汽車應用、醫療設備、5G 和雲端儲存。

裝置應用:
  • RF
  • MEMS
  • 資料儲存
  • 光子學
Wet Processing Application Suite:
 WaferStorm Platform
  • Metal Lift-Off
  • Photoresist/Dry Film Strip
  • Flux Clean
  • Scrubber
  • TSV Clean
WaferEtch Platform
  • UBM/RDL Etch
  • Compound Semiconductor Etch and Silicon Thinning
Making a Material Difference with Wet Process Technology:

The WaferStorm platform is the industry choice for a number of critical solvent-based processes in the advanced packaging, MEMs,…
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The WaferEtch platform is the industry choice for a number of critical aqueous-based processes in the advanced packaging, MEMs,…
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